第354章胡闻洲：回旋镖来得太快就像龙卷风

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    第354章胡闻洲：回旋镖来得太快就像龙卷风(第1/2页)
    两人说话的时候。
    核心专家组的众人目光，也都带着几分期许聚焦在了林决身上。
    按理说.....
    这种事情是不该就指望林决一个人来的。
    要不然的话，不显得他们没用了吗？
    但是吧......话又说回来了。
    目前为止，林教授的方案完全没毛啊！
    确实比他们提供的好太多了！
    特别是林氏函子光学变式，在测试中的表现，完全刷新了众人对EUV多层膜误差控制的认知！
    紧接着，众人便见台上的林决轻轻一笑，
    “确实。”
    闻言，陈望山不由得笑了出来。
    至于房怀年几人，则是满脸讶异。
    这小子......还真他娘是个人才啊！
    整机闭环没跑完，你也敢提前做优化方案？
    万一中间有超出预料的事情发生，那你不白干了吗？
    不过.....
    他们不知道的是，林决早已经通过胡老的手稿，在脑海中做过工程预演。
    虽然最后他推演出来的数据，会和现实数据有着一定误差。
    但却能够清晰的看到问题在哪里......
    之后。
    等整机闭关流程结束。
    只需要通过相应的数据，再进行调整的就行。
    两边同时进行。
    还能够省下一部分时间。
    当初面对胡闻洲时，他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。
    所以必须争分夺秒了。
    而现在。
    整机跑完，结果出来。
    果然......
    由于映射输出端的频率太快，在高电压情况下光路产生偏振，误差也就随之增大了......
    在得到林决回答后，卢敬尧立马好奇问着，
    “用的什么方法，压频率还是降电压？亦或者通过控制曝光来解决？”
    林决轻轻一笑，当即给否了，“都不选。”
    “？？？”
    “？？？”
    “？？？”
    蒋墨侧过头看着他，又是好奇又是疑惑，
    “都不选？那你想干啥？”
    按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。
    目前只能调控这三个变量，然后再根据整机环境，慢慢做进一步调整。
    林决平静开口，
    “我们花了二十多天，把误差从1.2压到0.18，现在又为了高电压下的稳定性，再退回去吗！？
    我不想这样做......”
    会议室安静下来。
    所有人目光放在林决身上。
    于志明皱眉，
    “那您的意思是......”
    林决并未回答。
    只是在电脑打开一个文档，然后将把132路的驱动时序图调了出来。
    此时大屏幕上，无数表示着方波的红点全挤在一处。
    “你们看，132路同时跳会如何呢？”
    他点了下鼠标，旁边弹出三行数据。
    【电源瞬时跌落：4.3%】
    【通道间串扰：2.1%】
    【镜面局部应力：增大】
    “在这种情况中，串扰和镜面局部应力增大，会导致双折射出现，然后产生偏振，出现误差。”
    蒋墨想了想，也提出想法，“那要不将电压器错开呢？”
    陈望山很快便摇了摇头，
    “不行......错开只能解决电源和串扰，解决不了应力，因为应力是叠加态，就算错开，总应力依旧存在。”
    房怀念笑道，
    “老陈说得对，这方面蒋墨你不是专家，还是别提意见了。”
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    蒋墨有点恼火的翻了个白眼，不过还是闭嘴，不再多言。
    紧接着。
    在众人目光中。
    林决将原本的画面切掉，新的优化方案出现在众人眼前.......
    “好了，大家先看这个......”
    ........
    同一时刻。
    协和病房。
    胡闻洲独自靠在病床上，看着眼前电脑上的电压排布，眉头不由皱起。
    前几天。
    当他听说实验室已经开始整机流程后，便也在同步做着模型改进.....
    而现在他看到，在整个模型跑完后，当电压达到某个临界值时，会反馈到镜面局部应力增大上。
    按照经验。
    他几乎是下意识判断出来，这种变化，最后会导致波前误差增大。
    “光机所的设备会压不住模型输出端的变化？林决的模型竟然能优秀到这种程度吗？”
    虽然有些难以置信。
    但看着电脑上显示的结果，胡闻洲还是不由得失笑摇头。
    与此同时。
    他心中也默默打算。
    得在中午吃饭的时候，跟所里说说这个情况。
    “至于改进方案......”
    “从整套流程来看，可以从输出频率出发，然后再通过降电压和控制曝光，将这三个指标控制在相对稳定的状态......”
    “但如此一来。”
    “原本可能达到0.15nmRMS的精度，只能稳定在0.20左右了。”
    “不过，即使是这个数据，林决也做得足够好了......
    拥有0.20nmRMS精度的指标，再通过多重曝光，应该已经可以造成7nm以内的芯片。
    就算不能量产，那也是巨大的进步了。”
    能在一个月内，就将光机所研究了许多年的多层膜问题解决，已经足够说明林决的潜力。
    至于更进一步。
    胡闻洲笑着摇头，
    “总不能光靠林决，就想着把产业链代差问题也搞定了吧？”
    ........
    中午的时候。
    胡闻洲给黄所那边打了个电话过去。
    然后得到消息是.....核心专家组正在开会。
    具体一点，是发现整机流程中，出现了波前误差偏振问题，在高电压下，极限误差会来到0.24nmRMS。
    “果然如此吗？”
    胡闻洲没有一点意外，
    “这样吧，你让老陈开完会给我打个电话。”
    说着，他看了看电脑上的方案初步构想，
    “就说波前误差解决的方法，我有点想法要跟他交流交流。”
    “行......”
    ........
    下午三点半。
    陈望山的电话打到了胡闻洲手机上。
    “老胡，你有事找我？”
    电话中，陈望山一边吃着午饭，一边问着。
    “是的，我听说所里第一次整机闭环流程出了点问题？”
    “哦，你说那个啊，林决已经解决了啊，我们明天就开始改。”
    “啊！？”
    胡闻洲一时愣在原地。
    看了看电脑上方案初稿。
    这只是他的一个想法而已，而且还要花许多时间，才能补充完整，然后再进行推进的。
    但现在呢？
    陈望山说他们已经解决了！？
    “对！林决的想法非常妙，核心专家组在听完后，全体一致通过！现在黄所那边，估计已经在签字了吧。”
    胡闻洲愣在原地，张了张嘴，想说什么却说不出来。
    回旋镖来得太快就像龙卷风啊.....

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