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第709章 深紫外光的多重曝光技术!

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    “可是……”
    许哲话锋一转,目光变得深邃,“教授说得也没错,没有核心技术,终究是沙上建塔。”
    他深吸一口气,竖起两根手指。
    “那就——双轨并行!”
    这四个字一出,在座的所有人呼吸都为之一滞。
    “我们分两队,第一队,由年轻骨干组成,全力攻坚分布式基站,我要在半年内看到原型机落地,并在深城进行小规模试点。”
    “我们必须要在年底前,拿着实实在在的数据去日内瓦申请一个专利。”
    “第二队……”
    许哲看向那些头发花白的老专家,语气变得格外郑重,“继续死磕芯片和射频器件,光刻机的问题,交给我。”
    “我待会儿就去联系中科院微电子研究所,哪怕是给他们磕头,我也要把技术支持求来。”
    “这简直是疯了……”
    有人倒吸一口冷气。
    双轨并行,意味着资金消耗将成倍增加,在这本来就捉襟见肘的关头,这无疑是一场把身家性命都押上去的豪赌。
    “没别的路了。”
    华伟的老郑掐灭了手里快烧到指甲的烟蒂,那双熬得通红的眼睛里闪过一丝决绝。
    “横竖都是死,不如博一把,许总,这方案华伟跟了!”
    “我这就给总部打电话,再抽调三十个做交换机的骨干过来,工资华伟自己发,只要能把这东西搞出来,砸锅卖铁我们也认。”
    有了带头的,原本摇摆不定的局面瞬间崩塌。
    “中兴也没问题,我们那边的实验室资源可以共享。”
    “大唐跟进。”
    老教授看着这一幕,重重地叹了口气,像是卸下了千斤重担,又像是背上了新的枷锁。
    他缓缓坐回椅子上,摆了摆手。
    “既然你们这群疯子要跳崖,那就跳吧!”
    “我们这把老骨头,就在下面给你们垫背。”
    ……
    会议结束的时候,天色已经擦黑。
    许哲连口水都没来得及喝,抓起桌上的公文包就冲出了大楼。
    首都的夜风带着一股干热,吹在脸上像有刺似的。
    许哲没时间感叹,在车后座借着灯光一遍遍翻阅着手中的技术报告。
    那是他连夜整理出来的“生死状”。
    每一个数据,每一行代码,都不仅是墨水,而是华夏通信行业的血泪。
    里面详细阐述了四代通信射频器件目前遇到的所有技术死结,以及他对国产光刻机突破方向的极度渴望。
    ……
    首都,中科院微电子研究所。
    当许哲站在那间朴素的办公室门前时,已经是次日清晨。
    他整理了一下满是褶皱的衬衫,用力搓了搓僵硬的脸颊,让自己看起来不那么像个落魄的赌徒。
    门开了。
    一位身穿灰色中山装的老者坐在堆满书籍和图纸的办公桌后。
    张院士。
    这个名字在华夏半导体界如雷贯耳。
    虽然头发已经全白,但他坐在那里,腰杆挺得笔直。
    张院士正一页页翻动着那份带着深城湿气的“生死状”。
    他看得极慢,每翻一页,眉头就锁紧一分,那身洗得发白的中山装随着呼吸微微起伏。
    “你要做射频器件,还要在这个节点上搞弯道超车。”
    老人合上文件,摘下玳瑁眼镜,那双浑浊却锐利的眼睛直刺过来。
    “后生可畏,但你知不知道,这上面画的不仅仅是电路图,更是钱,是命!”
    许哲腰杆挺得笔直,像是接受检阅的士兵。
    “我知道,这二十亿如果打水漂……我多少会被人谴责。”
    “但如果没有这东西,年底的日内瓦会议,我们连在那群洋人面前坐下的资格都没有。”
    “我有说不支持吗?”
    看着许哲倔强的表情,张院士突然笑了。
    他脸上的褶子瞬间舒展开,带着一股子老学究特有的狡黠与豪气。
    他把文件往桌上一拍。
    “只要是对国家有利的,就是把这把老骨头拆了当柴烧,我也支持!”
    “微电子所这几年这就是清水衙门,难得有个敢带着干粮来还要拼命的愣头青。”
    许哲紧绷的肩膀猛地一松,刚想道谢,张院士却抬手制止,手指在桌面上重重叩了两下。
    “别高兴得太早,支持归支持,科学不是请客吃饭。”
    老人起身,走到墙边那张巨大的设备分布图前,指着中间一块红色的区域。
    “你的方案我看懂了,设计理念确实超前,甚至可以说天才,但你忽略了一个最致命的物理极限——光刻精度。”
    “国内现在能动用的最好设备,拼了老命也只能做到零点一八微米,而你这个器件,要把性能拉满,至少得达到零点零九微米。”
    零点一八到零点零九。
    看似只是几个数字的差距,实则是横亘在华夏半导体工业面前的一道天堑。
    许哲的心猛地往下一沉。
    前世他虽然是搞金融的,但也对华夏的其他行业一知半解,知道这就是所谓的“摩尔定律”死结。
    没有ASML那种顶级的EUV光刻机,想要强行突破物理极限,无异于痴人说梦。
    难道真的要死在这里?
    不对。
    许哲脑中灵光一闪,前世的一篇技术研报突然浮现在脑海。
    在EUV光刻机普及之前,尼康和佳能曾经用过一种“笨办法”来延续摩尔定律。
    “张老。”
    许哲猛地抬头,眼里的光亮得吓人,“如果是死路,我们就换个走法。”
    “既然单次曝光达不到精度,能不能放弃传统光刻逻辑,改用深紫外光的多重曝光技术?”
    张院士夹烟的手在半空中停住了。
    “多重曝光?”
    “对!既然波长受限,那我们就用计算换精度。”
    “把原本一层光刻的图形拆分成两层甚至三层,利用现有设备的深紫外光源进行多次错位曝光,再通过化学刻蚀修剪。”
    “虽然步骤繁琐了三倍,良品率会暴跌,但理论上,这能不能在零点一八的机台上跑出零点零九的效果?”
    死寂。
    整个办公室安静得只能听见墙上挂钟“咔哒、咔哒”的走字声。
    张院士手里的烟燃到了尽头,烫到了指尖他才猛然惊醒。
    他像看怪物一样盯着许哲,嘴唇微微哆嗦。
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