第400章触碰式光刻机

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    他们也不多待，握个手，肯定几句，问问技术上的新想法，然后就匆匆离去。
    每个人脸上，都是实实在在的客气和感谢。
    这些人，代表的是共和国最顶尖的国防力量。
    而他们的感谢，都汇集到了刘宇一个人身上。
    年后复工第一天。
    部委大院里还飘着一丝假期的懒散，但这股气氛，丝毫没能吹进刘宇的办公室。
    上午九点，例行的开年动员会。
    部委领导总结的话音刚落，底下各部门负责人都还准备鼓掌，刘宇的椅子已经“刺啦”一声向后滑开。
    他第一个起身，连句客套话都没有，大步流星地就往外走。
    留下一屋子面面相觑的领导和同事。
    “嘿，刘所长这劲头，真是十年如一日的猛。”有人小声嘀咕。
    旁边立刻有人接话，语气酸溜溜的，却又带着服气。
    “人家有这资本啊！去年那两个国家级重点项目，哪个不是靠他力挽狂澜？”
    “还有计算所那边，听说第二代计算机的核心架构，都是刘所长提供的思路，不然进度至少再拖两年！”
    “何止啊，我听说过年的时候，总后大院都快被踏破门槛了，好几个军种的大佬都亲自上门给他拜年！”
    嘶——
    众人顿时倒吸一口凉气，再也没了议论的声音。
    那可不是一般的功劳，那是能让大佬登门拜年的天大功劳。
    此刻的刘宇，人已经一头扎进了无尘的集成电路车间。
    年前，中规模集成电路芯片的研发，就已经到了最关键的时刻。
    除非有任务分配的大事找上门来，刘宇才会动一下杆。
    对他来说。
    中规模集成电路的工艺，已经推进过半，他也开始进行中规模集成的更复杂层次进发。
    一九六四年的早春，京城的风还带着割脸的硬茬子，但一机部工业研究所的集成电路车间里，气温却恒定在二十二度。
    这不是为了人的舒适，是为了那些比头发丝还细的电路。
    刘宇换上了一身特制的白色连体防尘服，只露出一双深邃的眼睛。在他面前，是一台造型古怪、充满了机械美感与精密感的庞然大物。
    这就是他瞒着部里，甚至瞒着沈部长，动用了无数私产和人脉，“偷摸”搞出来的接触式光刻机。
    “所长，这东西……真的能行？”
    负责操作的技术员小王，手心里全是冷汗。他参与这个项目半年了，至今仍觉得自己在做梦。
    在此时的种花家，大家还在为能把晶体管做得更小一点而抠破脑袋，刘宇却已经提出了“光刻”的概念。
    “不行也得行。”刘宇的声音在面罩后显得有些沉闷，却透着股不容置疑的力量。
    【不行？开玩笑。老子脑子里装着后世五十年的半导体演进史，要是连个接触式光刻机都搞不定，干脆回四合院跟三大爷算计煤球得了。】
    刘宇腹诽了一句，目光落在那台机器上。
    其实，种花家的光刻机研发起步并不晚。在原本的历史轨迹中，明年也就是一九六五年，第一台接触式光刻机就会诞生。
    但刘宇很清楚，那台机器虽然是零的突破，但受限于当时的工业基础，稳定性极差，良品率更是让人想撞墙。
    后来到了八十年代，因为种种原因，这条路断了。
    这一断，就是几十年的仰人鼻息。
    【既然我来了，这种屈辱，这辈子都不会再有。】
    刘宇深吸一口气，他现在玩的是“双线并行”。
    左手抓中规模集成电路的架构设计，右手抓光刻机这一底层工具的研制。
    工欲善其事，必先利其器。没有光刻机，中规模集成电路就是空中楼阁，只能靠老专家们用显微镜和镊子一点点去“绣花”。
    那不叫工业，那叫手工艺品。
    “准备开始，第一次全流程测试。”刘宇下达了指令。
    车间里瞬间安静得连针掉在地上都能听见。
    几个老专家围在外面，隔着厚厚的玻璃窗，眼睛瞪得像铃铛。
    他们中有人支持刘宇，觉得这是“神来之笔”；也有人私下里嘀咕，觉得刘宇是“贪大求全”，放着正经的集成电路不搞，非要弄这种虚无缥缈的机器。
    “刘所长这是在赌啊。”一个老专家叹了口气，压低声音，“这台机器耗费了多少特种钢？用了多少高精度透镜？万一失败了，部里的口水都能把他淹死。”
    “他赌赢过很多次了。”另一人神色复杂，“万一……这次他又赢了呢？”
    刘宇没有理会外面的议论。他正亲自调整着光源。
    这台光刻机，是他根据历史上“65型”的蓝图，结合后世的精密光学补偿理论优化过的魔改版。
    透镜是找光学所的老院士，磨了半个月才磨出来的；机械臂的精度，是他亲自带着刘光天在车间里守了三个通宵，一点点调出来的。
    “对准完成。”小王的声音有些颤抖。
    “曝光预备，三、二、一，走！”
    随着刘宇的一声令下，一道紫外光源瞬间穿过掩膜版，精准地投射在涂了感光胶的硅片上。
    那一刻，空气仿佛凝固了。
    时间在这一秒变得极其漫长。
    刘宇看着控制台上的数据跳动，心里也在默默计算。
    接触式光刻，最难的就是掩膜版与硅片的接触精度。一旦有微小的空隙或者偏移，整个电路就会糊成一团。
    “曝光结束，进入显影程序。”
    硅片被送入显影液。
    所有人都屏住了呼吸。几个年轻的技术员甚至闭上了眼睛，不敢看结果。
    这不仅仅是一台机器的成功，这关系到整个中规模集成电路项目能不能从“实验室”走向“生产线”。
    “出……出来了！”
    小王惊叫一声，甚至顾不上礼仪，直接扑到了高倍显微镜前。
    他的身体剧烈地颤抖着，半天没说出一句完整的话。
    “怎么样？说话啊！”外面的老专家急得拍玻璃。
    小王抬起头，满脸通红，眼眶里竟然噙着泪水：“图形……完整！边缘锐度……极高！精度……精度达到了我们预设值的1.2倍！”

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